智能物流助力半导体工厂，“毛细血管”流动提速
2024-04-09 10:12:53来源：
今日都市网
Fully 有门道的Auto。
高速OHT系统连接在晶圆仓和洁净室Stocker之间，主要覆盖Inter。 Bay，就是生产物流“大动脉”；
采用AMR覆盖Intrack，在Stocker和E-Rack之间，然后在机器上下料。 Bay，这是工厂的物流“毛细血管”。
Inter Bay专注于一个快，Intra 在Bay中注意一种细腻。
AMR和OHT相互补充，共同铺开了半导体生产的智能升级路径。
1 集群调度
支持1000+AMR共场作业
多型号协同调度
2 全景覆盖
全治具搬运
强辐射、高清洁、高振动场景适配
3 系统兼容
协同打通智能生产系统
实现智能物流整体建设
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